Fan-Filtrationseinheit SUS304 Hepa FFU galvanisierte Blatt-laminare Luftströmung

Fan-Filtrationseinheit des neuen Typs blätterige der Luftströmungs-FFU des Reinraum-FFU

Die Flexibilität des Reinigungssystems ist für IC-Fabriken wegen seiner hohen Flexibilität und hohen Abdeckungsrate sehr wichtig. Wenn die Sauberkeit in der Werkstatt regionale Anpassung als die Prozessänderungen benötigt, kann die Sauberkeit in den lokalen Bereichen durch das Ändern des FFU-Luftvolumens oder das Ersetzen der blinden Platte geändert werden. Wenn sie dicht umfasst wird, kann die Abdeckungsrate 85,5% erreichen.

Die obere Decke des FFU ist Unterdruck, der eine Unterdruckdichtungsrolle spielen kann. Der Luftdruck in der Decke ist Unterdruck, und der Luftdruck in der Sauberkeit ist größer als der Druck im Deckenraum. Wenn es einen Abstand zwischen dem FFU und der Klammerdichtung gibt, verhindert der Unterdruck, dass die Luft, die nicht durch den HEPA-Filter den Raum überschreitet betritt, der zur Gewährleistung der Sauberkeit des Reinraumes förderlich ist.

Der Widerstand des Luftsystems ist klein, ist die Windgeschwindigkeit am Lüftungsgitter niedrig, und der windzugewandte Bereich des FFU ist groß, und der Strömungswiderstand ist über 50Pa; Der Schnittbereich des Rückhollufteinlasses ist auch groß, und der Widerstand des Rückhollufteinlasses ist innerhalb 15Pa; Der Widerstand des perforierten Bodens und des Grills ist klein. Der Gesamtwiderstand der Rückholluft (einschließlich perforierter Boden- und Grilllufteinlass), DES FFU-Widerstands und des Widerstands des abschließenden Filters ist weniger als 250Pa. Die FFU-Ausgang-Windgeschwindigkeit ist im Allgemeinen 0.38~0.45m/s.

Niedriger Energieverbrauch pro EinheitsLuftvolumen, nachdem FFU angenommen ist, dort ist kein Bedarf, einen Ventilator und einen speziellen Maschinenraum zu addieren, und der Widerstand der Luftzufuhrrohrleitung wird vermieden. Wenn Motor DC/EC (elektronischer Gleichrichter) für FFU angenommen wird, kann die Leistungsfähigkeit des Motors 75%~80% erreichen, und jeder Satz kann vorgeschriebene Steuerung der Geschwindigkeit entsprechend FilterSpannungsabfall leiten, um Energieverbrauch zu sparen. Deshalb ist der Energieverbrauch pro EinheitsLuftvolumen im Allgemeinen niedriger als das zentrale System von großen zentrifugalen Fans.