2025-01-16
In einemSauberes Zimmer, gibt es zwei Haupttypen von Luftströmungsmustern: parabolische und turbulente Strömung.
Einrichtung und Parallelstrom:Der Laminarstrom oder einseitiger Luftstrom ist der am häufigsten verwendete und gewünschte Luftstrom im Reinraum bei hohen Niveaus.ohne viel Vermischung der SchichtenEine relative Strömungsgeschwindigkeit wird über den Querschnitt des Reinraums gehalten.
Vertikaler Laminarstrom:Bei einem vertikalen Laminarstrom wird die Luft im Reinraum horizontal klimatisiert, von der Decke aus zugeführt und am Boden abgelassen.Diese Ausrichtung ist besonders nützlich, wenn horizontale Prozesse nach unten umgekehrt sind, einschließlich der Halbleiterherstellung, bei der Wafer verarbeitet werden.Der kontinuierliche Abfluss ermöglicht die Entfernung von Partikeln, die während des Herstellungsprozesses entstehen können, und sorgt so dafür, daß sie sich nicht auf empfindliche Gegenstände absetzen.
Horizontale Laminarströmung: IIn einem horizontalen Laminarstrom-Reinigungsraum wird Luft von einer Seitenwand zugeführt und an der gegenüberliegenden Seitenwand abgelassen.Diese Art von Strömung wird in einigen Montagevorgängen verwendet, bei denen lange flache Oberflächen häufige Reinigungsdienste erfordern..
Partikelentfernungseffizienz:Der Laminarfluss ist am effektivsten, um Partikel aus der Umgebung des Reinraums zu entfernen.Partikel werden mit der Richtung des Luftstroms bewegt und sofort aus dem Arbeitsraum entfernt.So erhalten wir eine sehr geringe Partikelkonzentration im Reinraum.die einen Reinraum für Industriezweige geeignet macht, die ein hohes Reinheitsniveau erfordern, einschließlich der Herstellung elektronischer Geräte, Drogen und Luft- und Raumfahrtkomponenten.
Chaotischer und gemischter Fluss:In einem sauberen Raum mit turbulentem Fluss ist die Luft, die in den Raum eingespeist wird, nicht gleichmäßig.Wirbel und Wirbel treten aufEs gibt eine unregelmäßige Verteilung der Luftgeschwindigkeiten im Raum und eine beträchtliche Integration verschiedener Luftströme.
Anwendungen und Beschränkungen:Die Turbulent-Flow-Reinigungsräume sind auch billiger in Bezug auf Herstellung und Betriebskosten als die Laminar-Flow-Reinigungsräume.Sie eignen sich ideal für den Einsatz in Situationen, in denen die Reinheit der Umwelt nicht sehr hoch ist.Bei einigen leichten Montageaufgaben oder in Bereichen, in denen die Emission von Partikeln vernachlässigbar ist, ist der Turbulenzdurchfluss jedoch nicht stabil.die Partikel bleiben eher in der Luft und können sich auf dem Gegenstand und dem Werkstück absetzen, so dass sie nicht bei Präzisionsarbeiten oder Verfahren verwendet werden, die sehr empfindlich auf Partikelbelastung reagieren.
Daher laminar flow is most common in clean rooms where high level of cleanliness is needed while turbulent flow maybe used in other clean rooms since it is cheaper despite the impracticalities of the air flow.
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